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扫描电镜结构设计合理
点击次数:169 发布时间:2018-08-29 打印本页面 返回
   扫描电镜结构设计合理
   扫描电镜的分辨率介于光学显微镜和透射电子显微镜之间,但在对厚块试样的观察进行比较时,因为在透射电子显微镜中还要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达到10nm,且观察的不是试样本身。因此,用扫 描电镜观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。
   观察试样的各个区域的细节。试样在样品室中可动的范围非常大,其他方式显微镜的工作距离通常只有2-3cm,故实际上只许可试样在两度空间内运动,但在扫描电镜中则不同。由于工作距离大(可大于20mm)。焦 深大(比透射电子显微镜大10倍)。样品室的空间也大。因此,可以让试样在三度空间内有6个自由度运动(即三度空间平移、三度空间旋转)。且可动范围大,这对观察不规则形状试样的各个区域带来极大的方便。
   扫描电镜在大视场、低放大倍数下观察样品,用扫描电镜观察试样的视场大。在扫描电镜中,能同时观察试样的视场范围F由下式来确定:F=L/M式中 F——视场范围;M——观察时的放大倍数;L——显象管的荧光屏 尺寸。若扫描电镜采用30cm(12英寸)的显象管,放大倍数15倍时,其视场范围可达20mm,大视场、低倍数观察样品的形貌对有些领域是很必要的,如刑事侦察和考古。
   进行从高倍到低倍的连续观察,放大倍数的可变范围很宽,且不用经常对焦。扫描电镜的放大倍数范围很宽(从5到20万倍连续可调),且一次聚焦好后即可从高倍到低倍、从低倍到高倍连续观察,不用重新聚焦, 这对进行事故分析特别方便。
   因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。同其他方式的扫描电镜比较,因为观察时所用的电子探针电流小,电子探针的束斑尺寸小,电子探针的能量也比较小,而且不是固定一点照射试样,而是以光栅状扫描 方式照射试样。因此,由于电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小,这一点对观察一些生物试样特别重要。
   在扫描电镜中,成象的信息主要是电子信息,根据近代的电子工业技术水平,即使高速变化的电子信息,也能毫不困难的及时接收、处理和储存,故可进行一些动态过程的观察,如果在样品室内装有加热、冷却、弯 曲拉伸和离子刻蚀等附件,则可以通过电视装置,观察相变、断烈等动态的变化过程。
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