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台式扫描电镜具有极高的机动性

 发布时间:2018-11-12 点击量:257
   台式扫描电镜具有极高的机动性 
   台式扫描电镜是针对台式电镜设计的,本着台式电镜简单易用,系统完全嵌入在电镜主机中,利用半导体制冷,无需额外冷却系统,采用低真空技术,出射电子与空气分子碰撞产生正离子,正离子与样品表面累积的 电子中和,有效抑制荷电效应的产生,直接观测各种不导电样品。 
   台式扫描电镜利用降低荷电效应样品杯,更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右,而且不会影响灯丝寿命,环境适应性高,完全防震,可以放置在几乎所有的室内环境当中,无需超净间,采用灯丝、探测器、样品 台相对一体化的设计,震动不会引起三者间的相对运动,使成像不受震动影响,可放置在较高楼层。台式扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统,以下提到扫描电子显微镜之处,均用SEM代替。 台式扫描电镜是一种大型精密仪器,它是机械学、光学、电子学、热学、材料学、真空技术等多门学科的综合应用。
   台式扫描电镜真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分,真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类,机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置真空要 求,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。台式扫描电镜成像系统和电子束系统均内置在真空柱中,真空柱底端即为密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:台式扫描电镜电子束系统中的灯丝 在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成像的电子更多。
 

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