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飞纳电子显微镜在工业生产中得到了广泛的应用

 发布时间:2019-05-24 点击量:144
  飞纳电子显微镜在工业生产中得到了广泛的应用 
   飞纳电子显微镜简称电镜,经过五十多年的发展已成为现代科学技术中不可缺少的重要工具,由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。
   飞纳电子显微镜技术的应用是建立在光学显微镜的基础之上的,光学显微镜的分辨率为0.2μm,透射电子显微镜的分辨率为0.2nm,也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。飞纳电子显微镜利用电子束感生电流EBIC进行成像,可以用来进行集成电路中pn结的定位和损伤研究,利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试 图形和薄膜电阻的导电形式。
   飞纳电子显微镜利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。飞纳电子显微镜利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。
   飞纳电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成,镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件,这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。飞纳电子显微镜用来聚焦电子,是电子显微镜镜筒中重要的部件。
   光学透镜的焦点是固定的,而电子透镜的焦点可以被调节,因此电子显微镜不像光学显微镜那样有可以移动的透镜系统。现代飞纳电子显微镜大多采用电磁透镜,由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强 磁场使电子聚焦。电子源是一个释放自由电子的阴极,栅极,一个环状加速电子的阳极构成的。阴极和阳极之间的电压差必须非常高,一般在数千伏到3百万伏特之间。它能发射并形成速度均匀的电子束,所以加速电压 的稳定度要求不低于万分之一。
   观察的是这些每个点散射出来的电子,放在样品旁的闪烁晶体接收这些次级电子,通过放大后调制显像管的电子束强度,从而改变显像管荧光屏上的亮度,图像为立体形象,反映了标本的表面结构。显像管的偏转线圈与样品表面上的电子束保持同步扫描,这样显像管的荧光屏就显示出样品表面的形貌图像,这与工业电视机的工作原理相类似,由于这样的显微镜中电子不必透射样本,因此其电子加速的电压不必很高。
 

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