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飞纳台式扫描电镜人性化软件操作界面

 发布时间:2018-09-12 点击量:285
   飞纳台式扫描电镜人性化软件操作界面  
   飞纳台式扫描电镜采用整块材质中间掏空制成,从而在同类产品中具有好的束流稳定性,受外界环境的干扰更小,保证高分辨率及获得细节更加丰富的图像,采用几块材质拼接而成,受外界干扰较大,束流稳定性 较差,自然其图像性能也大受影响。 
   飞纳台式扫描电镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用汇聚得很细小的电子束在样品表面扫描,通过电子束与样品的相互作用产生各种信号(如二次电子信号)来获得材料表面细节信息。飞纳台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成。其中,电子光学系统又由电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。工作时,电子枪发射出的电子束被电磁透镜汇聚成极细的 电子束,在样品表面进行扫描,激发样品表面产生二次电子。二次电子由探测器收集,并被闪烁体转变成光信号。
  二次电子产生的多少与样品表面的形貌有关。样品不同区域所激发出的二次电子的数量不同的,那么经光电倍增管和放大器转变成的电压信号就有相应的差别,反映在荧光屏上相应部位也有或亮或暗的衬度差, 终得到一幅样品表面放大的黑白图像。分辨率较低的飞纳台式扫描电镜的探测器一般位于电磁透镜和样品之间。在这种情况下,探测器和样品的距离就比较近,样品和透镜的距离(工作距离)就比较远。事实上,飞纳 台式扫描电镜的图像分辨率与工作距离密切相关,距离长会导致图像分辨率降低,而距离近则能提高图像分辨率。
    为了提高飞纳台式扫描电镜的图像分辨率,就要尽可能地缩短样品和透镜之间的距离,采用的方法就是把探测器往电磁透镜上方移。这样,工作距离就可以缩得很短。2000年以后,工作距离更短、图像分辨率更高 的场发射扫描电镜应运而生,并成为主流产品。而目前主流场发射飞纳台式扫描电镜采用半浸没式或全浸没式电磁透镜,也就是将探测器装在电磁透镜上方或者里面。
  探测器在样品和电磁透镜之间的钨丝灯扫描电镜设计简单,利用电场的作用来探测二次电子,只需要在探测器的前端加一个正电压,探测器就可以将二次电子“吸过去”,收集起来。而场发射飞纳 台式扫描电镜将探测器装到电磁透镜里面以后,虽然样品和透镜的距离拉近,但是探测器和样品的距离却变得更远了,收集二次电子的效率就会大大降低。
 

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